隨著低碳經濟的快速發展，氫能作為一種理想的清潔能源被廣泛應用于各個領域，如氫燃料電池汽車。經國務院同意，國家發展改革委、國家能源局于近期聯合印發了《氫能產業發展中長期規劃（2021-2035年）》。為了確保氫氣的安全使用，迫切需要開發具有高靈敏度、高選擇性、高穩定性且低功耗的氫氣傳感器。中科院上海微系統所李昕欣和許鵬程研究團隊在國家重點研發計劃項目《硅基氣體敏感薄膜兼容制造及產業化平臺關鍵技術研究》的資助下，積極部署了MEMS低功耗氫氣傳感器的研究工作。 

　　在半導體敏感材料表面修飾貴金屬催化劑是一種提升氫氣傳感器性能（如靈敏度）的有效方法。然而，半導體氣體傳感器的工作溫度往往高達數百攝氏度。在長期的高溫工作環境下，金屬催化劑的活性容易衰減，進而引起半導體氣體傳感器的性能下降甚至失效，阻礙了該類傳感器的實用化。傳統的材料表征方法通常只能分析敏感材料失活前后微觀形貌、結構及成分等的變化，缺乏在工況條件尤其是氣氛條件下原位表征敏感材料的能力，難以分析半導體氣體傳感器的失效機制。 

　　該論文使用氣相原位TEM實驗，在工況條件下成功觀測到了Pd-Ag合金納米顆粒催化劑的形貌和物相演變全過程，揭示了該合金納米催化劑在不同工作溫度下的失活機制，并據此對MEMS氫氣傳感器進行了優化，有效推進了氫氣傳感器的實用化。圖3所示 原位 TEM實驗結果表明，當半導體氫氣傳感器在300°C工作時，相鄰近的Pd-Ag合金納米顆粒容易發生融合、顆粒長大現象，并且顆粒的結晶性會提高。Pd-Ag合金納米顆粒催化劑的粒徑增大、缺陷減少，使得其催化活性降低，最終引起了氫氣傳感器的靈敏度出現衰減。當氫氣傳感器在更高溫度（500°C）下工作時，Pd-Ag合金納米顆粒會進一步發生相偏析，Ag元素從合金相中析出，同時生成了PdO相，從而導致催化劑喪失了協同增強效應，使得氫氣傳感器的靈敏度大幅下降甚至失效。